SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數(shù)；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性。

SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

SJ6000激光干涉儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng)，不僅僅局限于運動導軌，還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設備性能，減少維護成本和停機時間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。

在機床領域的應用

1.測量機床導軌的直線度和平行度。

導軌是機床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導后續(xù)的優(yōu)化和調整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時進行調整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求，從而為后續(xù)的機床調整和校準提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應用，激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系，從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況，及時發(fā)現(xiàn)機床的故障和異常狀態(tài)，保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。

對數(shù)控機床進行螺距誤差補償

部分技術規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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