3d輪廓掃描儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量儀器，采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計(jì)算機(jī)通過修正算法對(duì)光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對(duì)輪廓、粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。

　　3d輪廓掃描儀高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性，滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求。選用高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)和高精度電感測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量精度高；自主研發(fā)高精度研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)穩(wěn)定可靠工作；高性能直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，保證測(cè)量穩(wěn)定性高、重復(fù)性好。

　　3d輪廓掃描儀的性能特點(diǎn)：

　　1、同時(shí)能測(cè)量表面粗糙度和輪廓形狀

　　共用主體，只需切換不同模塊，可對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行輪廓形狀測(cè)量和微觀粗糙度測(cè)量。

　　2、可進(jìn)行多參數(shù)評(píng)定

　　粗糙度可依據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行自動(dòng)評(píng)價(jià)，包含Ra,Rp,Rv,Rz,Rt,Rmax,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr及P參數(shù)、W參數(shù)、Motif參數(shù)、Rcore核心參數(shù)等多參數(shù)評(píng)定。

　　3、厚度參數(shù)測(cè)量

　　粗糙度參數(shù)測(cè)量的同時(shí)可同時(shí)測(cè)量600微米以內(nèi)的一些薄膜臺(tái)階高度、厚度尺寸，測(cè)量方便，精度控制在2%H（H，測(cè)量總高度）以內(nèi)，特別適合高精度且不能有刮傷的測(cè)量場(chǎng)合。

　　4、測(cè)量力系統(tǒng)：

　　采用音圈電機(jī)測(cè)力系統(tǒng)，測(cè)力可實(shí)現(xiàn)從10～150mN連續(xù)可調(diào)，測(cè)力分辨力可達(dá)0.2mN；避免了老式砝碼加載因周圍環(huán)境振動(dòng)帶來的測(cè)力誤差，降低了測(cè)力變化引起的測(cè)量誤差。

　　5、智能保護(hù)系統(tǒng)：

　　儀器在各個(gè)方向都有進(jìn)行硬件及軟件保護(hù)，能有效的保護(hù)儀器主機(jī)及測(cè)針，降低人員因操作失誤帶來的測(cè)針及儀器損傷。

　　6、靈活手動(dòng)控制：

　　儀儀器配置了特殊分離式操作桿，操作桿在儀器操作移動(dòng)時(shí)，可放置在任何位置控制操作，在測(cè)量工件前對(duì)測(cè)針進(jìn)行粗定位；在脫離電腦的情況下，操作桿具備左右/上下移動(dòng)測(cè)針、急停、測(cè)桿上下角度擺動(dòng)及速度分多級(jí)調(diào)節(jié)功能。